簡(jiǎn)要(yào)概(gài)述:
Ø ST-21型方塊電阻測(cè)試儀(yí)是一種(zhǒng)依照(zhào)類似(sì)的國(guó)家(jiā)標準(zhǔn)和(hé)美(měi)國(guó)A.S.T.M標準(zhǔn),專門測量半導(dǎo)體(tǐ)薄(báo)層電(diàn)阻(表麵(miàn)電阻(zǔ))的新(xīn)型儀(yí)器,可(kě)用(yòng)於(yú)測量(liáng)一般(bān)半導體材料,導電薄膜(mó)(ITO透明(míng)氧(yǎng)化膜),金屬(shǔ)薄膜(mó)……等同(tóng)類物(wù)質(zhì)的(dí)薄層電(diàn)阻(zǔ)。
Ø 該儀器以大規模(mó)集(jí)成電路為(wéi)主(zhǔ)要核心(xīn);用(yòng)基(jī)準(zhǔn)電源和運算(suàn)放大器組成高(gāo)精度(dù)穩流源;帶(dài)回(huí)路有效正(zhèng)常(cháng)指(zhǐ)示(shì)電路(lù);並配(pèi)以大型LCD顯(xiǎn)示(shì)讀數,使(shǐ)儀器具(jù)有(yǒu)體(tǐ)積(jī)小,重量(liáng)輕,外形美,易操作(zuò),測量(liáng)速度快,精度高的特點(diǎn)。
性(xìng)能(néng)特(tè)點:
Ø 采用大規(guī)模(mó)集(jí)成電(diàn)路作(zuò)為(wéi)儀器的主(zhǔ)要(yào)部(bù)分(fēn),測(cè)量準確穩定,低功耗(hào);
Ø 以(yǐ)大屏幕LCD顯(xiǎn)示(shì)讀數,直觀(guān)清晰(xī);
Ø 采用單(dān)個電池供電(diàn),帶(dài)電(diàn)池(chí)欠(qiàn)壓(yā)指(zhǐ)示;
Ø 體積(jī)≤175mm X90mm X42mm,重量(liáng)≤300g;
Ø 特製(zhì)之手(shǒu)握式探(tàn)筆,球(qiú)形探(tàn)針,鍍金(jīn)探(tàn)針有效(xiào)接(jiē)觸被(bèi)測(cè)材(cái)料及(jí)保護薄膜(mó)
Ø 探(tàn)頭帶抗靜(jìng)電(diàn)模塊
技術指標(biāo):
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測量(liáng)範圍
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按(àn)方塊電(diàn)阻量(liáng)值(zhí)大(dà)小分為二(èr)個量程檔(dàng):
1. 方塊(kuài)電阻 1.00~199.99Ω;
2. 方塊(kuài)電(diàn)阻(zǔ) 10.0~1999.9Ω;
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恒(héng)流源
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測量(liáng)過程(chéng)誤差(chà):≤±0.8%
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模(mó)數轉換器(qì)
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量程(chéng):0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方(fāng)式:LCD大屏幕(mù)顯示;極性,超量程均自動顯(xiǎn)示;小(xiǎo)數(shù)點同步顯(xiǎn)示;
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測量不確定度(dù)
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在整個(gè)量程範(fàn)圍內,測(cè)量(liáng)不確定(dìng)度(dù)≤5%
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四(sì)探針(zhēn)探(tàn)頭規格
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間距(jù):1mm,1.59mm,3.8mm;偏差≤2%;遊移率≤0.3%;絕緣(yuán)電(diàn)阻(zǔ)≥500MΩ
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電源
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9V疊層(céng)電池1節
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ST-21方(fāng)塊電(diàn)阻(zǔ)測(cè)試儀(yí)可選(xuǎn)配HP係列(liè)四探針(zhēn)探頭(tóu)的(dí)型(xíng)號(hào)及(jí)規格(gé):
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型號(hào)
(Model)
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曲率(shuài)半徑
(Radius)
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壓(yā)力
(loads)
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探針間距(jù)
(spacing)
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探針排(pái)列(liè)
(Arrangement)
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HP-501
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0.5mm
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100g
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3.8mm
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直(zhí)綫(xiàn)
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HP-502
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0.75mm
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100g
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3.8mm
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直綫(xiàn)
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HP-503
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0.1mm
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150g
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1mm
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直(zhí)綫(xiàn)
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HP-504
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0.5mm
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100g
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1.59mm
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直綫(xiàn)
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ST-21方塊電阻測(cè)試儀(yí)可(kě)選配(pèi)SP-601型(xíng)方(fāng)型四探針探頭(tóu)的(dí)型(xíng)號(hào)及(jí)規(guī)格(gé):
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型(xíng)號
(Model)
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曲率半徑(jìng)
(Radius)
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壓(yā)力(lì)
(loads)
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探針(zhēn)間(jiān)距
(spacing)
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探針排列
(Arrangement)
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SP-601
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0.5mm
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100g
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1.59mm
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方形
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